試料にX線や電子線を照射すると，そのエネルギーが原子の内殻の電子がもつエネルギーより大きな場合，光電効果により内殻電子が放出され，励起状態になります。励起状態は不安定なのでこれを解消するため，外殻の電子が内殻に遷移し基底状態に戻ります。この時，各電子軌道が持つエネルギー差が蛍光X線として放射されます。この蛍光X線を検出することにより，試料を構成する元素組成情報を得ることができます。
K殻の空孔がL殻からの電子によって埋められて生じる蛍光Ｘ線をKα線，M殻からの電子によって埋められて生じる蛍光Ｘ線をKβ線といいます。
以下に蛍光X線分析装置から得られるスペクトル及び機器の特徴を示します。
図中の記号は最初の1文字あるいは2文字が元素記号を，後ろの2文字が検出されたＸ線の種類を示します。FeKa(FeKA)は鉄のKα線が検出されていることを示します。
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SEM-EDX(走査型分析電子顕微鏡) 励起源 ： 電子線 分光・検出方法 ： エネルギー分散型 検出可能な元素 ： 炭素～ウラン X線エネルギースペクトルの見方 縦軸 ： 相対強度(ｃｐｓ) 横軸 ： エネルギー(ｋeV) 特徴 ： 小さな試料の測定ができる。 |
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蛍光X線分析装置 励起源： X線管球 分光・検出方法 ： エネルギー分散型 検出可能な元素 ： ナトリウム～ウラン 蛍光X線エネルギースペクトルの見方 縦軸：強度(ｃｐｓ/μA) 横軸 ： エネルギー(KeV) 特徴 ： 重元素の感度が良い。 蛍光X線分析装置は，波長分散型を使用する場合もあります。 |
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